ASTM F84-2002 用在线四点探针法测量硅片电阻率的标准试验方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-14 02:36:20
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringResistivityofSiliconWafersWithanIn-LineFour-PointProbe
【原文标准名称】:用在线四点探针法测量硅片电阻率的标准试验方法
【标准号】:ASTMF84-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量;电子工程;耐力;硅;垫圈
【英文主题词】:four-pointprobe;four-probe;resistivity;semiconductor;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthemeasurementoftheresistivityofsiliconwaferswithain-linefour-pointprobe.Theresistivityofasiliconcrystalisanimportantmaterialsaccept
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:用在线四点探针法测量硅片电阻率的标准试验方法
【标准号】:ASTMF84-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量;电子工程;耐力;硅;垫圈
【英文主题词】:four-pointprobe;four-probe;resistivity;semiconductor;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversthemeasurementoftheresistivityofsiliconwaferswithain-linefour-pointprobe.Theresistivityofasiliconcrystalisanimportantmaterialsaccept
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:14P.;A4
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